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计量学报  2011, Vol. 32 Issue (1): 16-19    DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2011.01.04
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基于等效面积法的线宽及线宽粗糙度测量
李洪波1,2,赵学增3,赵维谦1
1.北京理工大学光电学院, 北京 100001
2.中国航空工业集团公司长城计量测试技术研究所, 北京 100095
3. 哈尔滨工业大学机电工程学院,  黑龙江 哈尔滨  150001
Measurement of Line-width and Line-width Roughness Based on Equivalent Area
LI Hong-bo1,2,ZHAO Xue-zeng2,ZHAO Wei-qian1
1. School of Optoelectronics, Beijing Institute of Technology, Beijing 100081, China
2.AVIC Changcheng Institute of Metrology, Beijing 100095, China
3. School of Mechanical and Electrical Engineering, Harbin Institute of Technology, Harbin, Heilongjiang  150001, China
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